반도체 패키징기술

다층 폴리이미드 패턴

티씨씨 2022. 1. 7. 08:30
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다층의 Cu-폴리이미드 패턴 제작을 위한 공정 절차는 4-5 금속층을 포함하고 있습니다. copper 필름의 두께는 5 μm이고, 선폭은 25 μm, 그리고 피치는 100-125 μm입니다.

 

 

 

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