반도체 패키징기술

추가 마스크를 이용한 편평성증대

티씨씨 2022. 12. 9. 08:30
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추가적인 박막 마스크를 필요로 하지만, +- 5 μm 정도의 기판 편평성을 가지는 좀더 정밀한 박막 층을 가능하게 합니다.

 

 

 

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