2017. 8. 8. 08:30 접착제란?
DRAM 생산에 사용되는 광경화성수지
KrF 엑시머광, ArF 엑시머광의 파장 영역에서는 노볼락형 수지를 사용할 수가 없습니다. 이것은 노볼락형 수지 자신이 이러한 파장 영역에 강한 흡수를 나타내고, 레지스트막의 표면에서는 반응이 진행되지만, 막 내부에 빛이 도달하지 않기 때문입니다. KrF 엑시머광용 레지스트에서는 노볼락형 수지 대신에 248nm에 흡수창을 가진 폴리히드록시스티렌이 이용되고 있습니다.
운영홈페이지 : http://www.tcctech.co.kr
QR 코드 :
'접착제란?' 카테고리의 다른 글
기록매체의 UV 경화수지 사용의 장점 (0) | 2017.08.22 |
---|---|
기록매체 (0) | 2017.08.16 |
DRAM 생산에 사용되는 광경화성수지 (0) | 2017.08.08 |
DRAM (0) | 2017.08.01 |
정보 처리 기기 - CPU의 소형화실현 (0) | 2017.07.25 |
정보 처리 기기 - CPU설계 (0) | 2017.07.18 |
TAG DRAM,
dram생산,
dram생산에,
krf,
가진,
강한,
강한흡수,
강한흡수를,
경화,
경화성,
광경화,
광경화성,
광의,
나타내,
나타내고,
내부,
내부에,
노볼락,
노볼락형,
노볼락형수지,
노볼락형수지를,
대신,
대신에,
도달,
도달하지,
되는,
때문,
레지스트,
레지스트막,
레지스트막의,
레지스트에,
레지스트에서,
레지스트에서는,
막내부,
막내부에,
반응,
반응이,
빛이,
사용,
사용되는,
사용할,
생산,
생산에,
수지,
수지를,
수지자신,
수지자신이,
스티렌,
스티렌이,
않기,
않기때문,
엑시머,
엑시머광,
엑시머광의,
영역,
영역에,
영역에서,
영역에서는,
이것,
이것은,
이러한,
이러한파장,
이용,
이용되,
이용되고,
자신,
자신이,
진행,
진행되,
진행되지,
진행되지만,
파장,
파장영역,
파장영역에,
파장영역에서,
파장영역에서는,
폴리,
폴리히드록시,
폴리히드록시스티렌,
폴리히드록시스티렌이,
표며네서,
표면,
표면에,
표면에서는,
하지,
흡수,
흡수를,
흡수창,
흡수창을,
히드록,
히드록시,
히드록시스티렌,
히드록시스티렌이
댓글을 달아 주세요