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  1. 2017.09.20 TFT-LCD의 구조


TFT란 전계효과 트랜지스터(FET:Field Effect Transistor)인 MOS(Metal Oxide Semiconducter) FET의 일종으로 유리기판위에 Amorphous-Silicon(비정질실리콘) 등의 반도체박막을 형성시켜 여기에 FET구조를 만든것을 말합니다. 박막(thin film)형성기술은 수백옹스트롬내지 수천옹스트롬의 얇은 막을 절연기판상에 진공증착(Vapor Deposition)에 의해 형성하는 기술로서 처음엔 박막 재료로 CdS등이 사용되었으나 지금은 비정질실리콘막이 주류를 이루고 있습니다. 아모퍼스실리콘 TFT의 드레인(drain)과 소스(source)층은 고농도의 아모퍼스실리콘으로 형성, 절연층은 CVD(Chemical Vapor Deposition)기법에 의해 형성됩니다. 현재 TFT는 액정디스플레이의 구동용 소자로서 불가결의 것이 되어있습니다.





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Posted by 티씨씨
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