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  1. 2013.11.26 액정 적하공법용 장비

 

LC Dispenser: Mother glass에 liquid crystal를 분산하기 위한 장비.

 

LCD 제조 공정의 장비는 현재 국산화가 상당히 진전되어 있는 상황으로 제 8세대 장비로 참이앤티는 LCD 검사공정용 레이저 리페어(Laser repair) 장비를 아이피에스는 전공정 핵심장비인 건식 식각장비(Dry etcher)를 코닉시스템은 후공정 액정적하 시스템을 각각 개발하였습니다. 디이엔티는 그로스테스터(Gross tester) 및 프로버(Prober) 등을, 이오테크닉스는 트리머(Trimmer)를, 세메스는 감광액 도포장비(PR coater)와 면취후세정장비(Edge grinder)를, 케이씨텍은 고집적세정장비(Wet station), 에스엔유프리시젼는 LCD 측정장비인 비접촉식 3차원나노형상측정장비(PSIS), 한양이엔지와 에스티아이는 화학약품공급장비(CCSS), 넥스트인스트루먼트는 검사공정용 AOI (Automated optical inspection) 장비 등을 국산화하여 대부분의 장비가 국산화가 진행되고 있습니다.
상기그림은 탑엔지니어링사의 액정 디스펜서(Dispenser)장치를 나타내었습니다.
이처럼 제조 장비에 대한 부분은 상당한 기술 발전과 국산화가 진행되고 있지만, LCD제조에 핵심이라 할 수 있는 재료는 대부분 수입에 의존하고 있습니다. 특히 대일본 수입 의존도는 현재까지도 높은 상황입니다.

 

 

 

 

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