National SemiconductorMicro SMD 소자 제조 공정도

 

가장 간단한 wafer level CSP 구조로서 대개 리드의 개수가 50개 이하인 소형 소자에 적합합니다. 위그림National Semiconductor 사의 Micro SMD 패키지와 제조공정을 나타냈습니다. I/O 14개 이하의 전압 레귤레이터, 제어기, 아날로그 소자 등의 용도로 사용되며, 0.5mm 피치, 직경 170 또는 300㎛ 솔더볼, 두께 0.9 mm, 에폭시 백코팅(back coating)을 하여 사용합니다. 제조 공정은 wafer Al 패드에 2차 패시베이션 층으로 폴리이미드를 형성하여 via를 형성한 후 솔더볼을 사용하여 범핑합니다. wafer의 뒤 부분을 에폭시로 코팅하고 이를 절단하여 하나의 패키지로 사용합니다.

 

 

 

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Posted by 티씨씨

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