레이저를 이용한 접합공정

 

 

레이저를 이용한 이방성 전도 필름 접합의 주요 공정 조건은 레이저 출력(Power Density), 레이저의 조사 시간 및 압력입니다. 레이저의 출력과 조사 시간은 Hot Plate에서의 온도와 같은 역할을 합니다. 레이저 출력이 높으면 샘플에서의 에너지 흡수가 많아 온도가 빠르게 증가하고 또한 조사 시간이 길어도 많은 에너지를 흡수할 수 있기 때문에 공정 시간을 단축시킬 수 있습니다. 하지만 너무 높은 레이저 출력은 샘플의 손상을 입힐 수 있기 때문에 조사 시간과 균형을 맞추어 최적의 공정 조건을 찾아야 합니다. 압력은 이방성 전도 필름의 종류에 따라 입력 값이 다르기 때문에 접합 필름의 종류에 맞게 전달해 줍니다.

 

 

 

 

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