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MCM의 제조 공정은 다음과 같습니다. 벌크 저항이 2.8 μohms-cm인 알루미늄 금속화는 5 μm의 두께로 스퍼터됩니다. 감광저항은 리소그래픽하게 패턴을 형성하고 금속은 선택적으로 최소 25 μm의 선폭까지 에칭 됩니다.





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Posted by 티씨씨

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