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현재 외산 장비의 최대 capa인 2″45매(4″11매)의 생산성을 200% 이상 향상된 대용량 MOCVD 장비기술 개발, 그리고 가동률 향상을 위한 기판이송 자동화 기술 및 Cluster Tool 기술 개발을 하여야 합니다.
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